Японская химическая компания JSR планирует построить свой первый завод на Тайване, чтобы поставлять и совместно разрабатывать передовые фоторезисты для TSMC. По данным Nikkei Asia, предприятие может начать работу уже в 2028 году, а объём инвестиций составит десятки миллионов долларов. В начале апреля JSR уже создала совместное предприятие с местным партнёром.
Новый завод должен устранить слабое место JSR в конкуренции с другими японскими поставщиками. Tokyo Ohka Kogyo и Shin-Etsu Chemical уже имеют производственные площадки на Тайване и могут быстрее взаимодействовать с TSMC при разработке материалов. Для фоторезистов это особенно важно, поскольку на передовых техпроцессах составы нужно точно настраивать под конкретное литографическое оборудование и химические процессы травления.
Сейчас JSR обслуживает тайваньских клиентов, отправляя образцы из Японии, США и Бельгии. Из-за такой логистики каждый цикл тестирования может занимать недели, тогда как локальное производство позволит инженерам компании работать рядом с командами TSMC и быстрее вносить изменения. Помимо фоторезистов, JSR также рассматривает возможность выпуска на тайваньской площадке других материалов для полупроводникового производства, включая абразивы для обработки подложек.
Расширение станет частью более широкой стратегии JSR. Компания уже строит в Южной Корее первое в мире промышленное производство металлооксидных фоторезистов, массовый выпуск которых должен начаться в этом году. Эти материалы на основе олова предназначены для EUV-литографии и будут поставляться Samsung Electronics и SK hynix.
Металлооксидные фоторезисты эффективнее поглощают EUV-излучение, чем традиционные химически усиленные составы, что позволяет получать более высокое разрешение и снижать количество дефектов. JSR получила ключевые разработки в этой области после покупки Inpria в 2021 году и теперь намерена предлагать такие материалы также TSMC, особенно для будущих 2-нм и более продвинутых техпроцессов, включая линии с high-NA EUV.
Японские компании контролируют около 80% мирового рынка фоторезистов и почти полностью доминируют в премиальном EUV-сегменте. Китайские производители постепенно усиливаются в менее сложных категориях, но пока почти не представлены на уровне ArF и выше. Поэтому JSR делает ставку на тесную совместную разработку с ведущими чипмейкерами, где технический барьер остаётся особенно высоким.